HS-20MG
台阶高度为20 nm的高度校准标准


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Mounted on 12mm round metal plate
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产品信息

问题:

原子力显微镜已成为一种有价值的工具,不仅用于可视化,而且用于在纳米和微米级上执行精确的测量。为了充分利用其测量功能,需要对AFM系统进行适当的校准。

解决方案:

HS-20MGBudgetSensors引入的高度标准之一,以响应对可负担得起的高质量AFM校准标准的日益增长的需求。

HS-20MG在5x5mm的硅芯片上具有二氧化硅结构阵列。制造工艺可确保整个芯片上的结构具有极好的均匀性。反过来,这又可以确保对AFM系统进行轻松可靠的Z轴校准。

校准区域位于芯片的中心。使用AFM光学系统很容易找到它。结构台阶高度在20nm的范围内。盒标签上标有每个芯片的准确值。

具有不同形状和间距的结构阵列被集成在芯片上。较大的正方形(1x1mm)包含方柱和间距为10µm的孔。较小的正方形(500x500µm)包含圆形支柱和孔以及X和Y方向上间距为5µm的线。

除了Z轴校准外,该设计还允许对较大的扫描仪(40-100µm范围)进行X轴和Y轴校准。而且,结构对称性使您无需在X轴和Y轴校准之间旋转和重新对准样品即可校准AFM系统。

HS-20MG芯片使用优质导电环氧树脂胶粘到12毫米金属圆盘上,可以在出厂时立即使用。也可以卸下(HS-20MG-UM)。

技术指标一览:

模具尺寸:5x5mm

台阶高度:~20nm (精确值在每个盒子的标签上都有注明)

结构几何:

  • 间距为10µm的方孔和立柱以1x1mm的正方形排列
  • 圆形的支柱和孔,以及在x和y方向上以5µm间距排列的线,并以500x500µm的正方形排列
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