CS-20NG
XYZ标定纳米网格,台阶高度为20 nm,周期为500 nm


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产品信息

为什么要XYZ校准纳米网格?

为了充分利用其测量功能,需要对AFM系统进行适当的校准。您的校准标准越精确,就可以实现更准确的AFM测量结果。在这方面,纳米网格校准标准可以进行最精确的AFM系统校准。

解决方案:

CS-20NG是先进的XYZ校准纳米网格,可进行高达纳米级别的校准。它在5x5 mm的硅芯片上具有二氧化硅结构阵列。制造工艺可确保整个芯片上的结构具有极好的均匀性。反过来,这又可以确保对AFM系统进行轻松,可靠的X,Y和Z轴校准。

校准区域位于芯片的中心。使用AFM光学系统很容易找到它。

结构台阶高度在20nm的范围内。盒标签上标有每个芯片的准确值。具有不同形状和间距的结构阵列被集成在芯片上。大正方形(1x1 mm)包含方柱和间距为10 um的孔。中间的正方形包含圆形的支柱和孔以及X和Y方向上5微米间距的线。小正方形包含间距为500 nm的圆形孔。

CS-20NG 适用于横向和垂直AFM扫描仪校准。结构对称性使您可以一步校准AFM系统,而无需在X轴和Y轴校准之间旋转样品。

CS-20NG 芯片使用高质量的导电环氧树脂胶粘到12毫米的金属盘上,可以在出厂时立即使用。也可以卸下 (CS-20NG-UM)。

技术指标一览:

模具尺寸: 5x5mm

台阶高度:~20nm (每个盒子的标签上指示的精确值)

结构几何:

  • 间距为10µm的方孔和支柱以1x1mm的正方形排列
  • 圆形支柱和孔,以及在x和y方向上以5µm间距排列的线,并以500x500µm的正方形排列
  • 间距为500nm的圆孔以100x100µm的正方形排列
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